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타겟
타겟
타겟은 각종 액정 평판 디스플레이용 투명 전극으로 사용되는 물질입니다.
타겟이란 ITO(INDUM TIN OXIDE )라고 불리며 투명성과 전도성이 동시에 요구되어지는 각종 액정 평판 디스플레이용 투명 전극으로 사용되는 물질입니다. 또한 SPUTTERING 혹은 E-BEAM을 통한 방법으로 코딩하는데 사용되는 소결제가 ITO TARGET입니다.
ITO Target의 특장점
- 01
순수 100% 국내 독자기술
- 02
세계 최고 수준의 독자적 In2O3 나노 분말 제조 공법
- 03
우수한 내구성 (High Thermal Stability)
- 04
저 파티클 발생
- 05
저 저항 고 투과율 특성
TO Target의 종류
- (1)
스퍼터 타겟(Sputter) : FPD/SEMI
| 성분사양(wt%) | Density | 제조규격 |
| ln203:Sno2(90:10±0.5) | ≥99% | 길이: ≥850 / ㎜ |
| ln203:Sno2(97.3:10±0.2) | ≥99% | 폭: ≥500 / ㎜ |
| ln203:Sno2(95:5±0.3) | ≥99% | 두께: ≥12 / ㎜ |
- (2)
증착재(Evaporator) : Pellet / Tablet
| 성분사양(wt%) | Density | 제조규격 |
| ln203:Sno2(90:10±0.5) | ≥60% / ≥99% | 길이: User Option |
| ln203:Sno2(97.3:10±0.5) | ≥60% / ≥99% | 폭: User Option |
| ln203:Sno2(95:5±0.5) | ≥60% / ≥99% | 두께: User Option |
- (3)
분말(Powder)
| 성분사양(wt%) | Density | 제조규격 |
| ln203:Sno2(90:10±0.5) | ||
| ln203:Sno2(97.3:10±0.5) | ||
| ln203:Sno2(95:5±0.5) |
ITO Target의 용도
LCD, PDP, Touch Panel, EMI, EL, OLED and etc.
